Uppbygging plasmahreinsiefnis

Uppbygging plasmahreinsiefnis samanstendur af þremur meginþáttum: stjórneiningunni, lofttæmishólfinu og lofttæmisdælunni. Við skulum ræða þessa þrjá þætti:
1. Stjórnbúnaður
Plasmahreinsiefni sem notuð eru í Kína, þar á meðal innflutt, eru með stýrieiningum með fjórum aðalgerðum: hálf-sjálfvirkum, fullsjálfvirkum, PC-stýrðum og LCD snertiskjá.
Stýrieiningunni er frekar skipt í tvo meginhluta:
1) Aflgjafi: Það eru þrjár aðaltíðni aflgjafa: 40 kHz, 13,56 MHz og 2,45 GHz. 13,56 MHz aflgjafinn krefst straumbreytis.
2) Kerfisstýringareining: Það eru þrjár gerðir: ýta-hnappastýring (hálf-sjálfvirk og fullsjálfvirk), tölvustýring og PLC-stýring (LCD snertiskjár).
2. Vacuum Chamber:
Tómarúmhólf eru fyrst og fremst gerð úr tveimur efnum:
1) Ryðfrítt stál tómarúmhólf.
2) Quartz hólf.
3. Tómarúmsdæla:
Tómarúmdælur eru skipt í tvær gerðir:
1) Þurrdæla.
2) Olíudæla.